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PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤(rùn)濕性,清洗SEM &TEM,紫外對(duì)聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對(duì)材料無損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm。