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雙靶磁控濺射儀
簡要描述：

VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀配備有兩個靶槍，一個弱磁靶用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜，一個強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比，且具有體積小便于操作的優(yōu)點，且可使用的材料范圍廣

  • 產(chǎn)品型號：VTC-600-2HD
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-08-19
  • 訪  問  量：2535

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子
    雙靶磁控濺射儀主要特點：

    1、配置兩個靶槍，一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。

    2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。

    3、體積小，操作簡便。

    技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱 VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀
產(chǎn)品型號 VTC-600-2HD
安裝條件 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）
2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地
3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套接頭）及減壓閥
4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置：需要
主要參數(shù) 1、電源電壓：220V  50Hz
2、功率：<2KW（不含真空泵）
3、極限真空度：9.0×10-4Pa
4、樣品臺加熱溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）
5、靶槍數(shù)量：2個（可選配其他數(shù)量）
6、靶槍冷卻方式：水冷
7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）
8、直流濺射功率：500W；射頻濺射功率：300W。（靶電源種類可選，可選擇兩個直流電源，也可選擇兩個射頻電源，或選則一個直流一個射頻電源）
9、載樣臺：Ø140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。
10、載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)
11、工作氣體：Ar等惰性氣體
12、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進(jìn)氣，一路為100SCCM，另一路為200SCCM。
產(chǎn)品規(guī)格

1、主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm
2、整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm
3、真空室規(guī)格：φ300×300mm
4、重量：160kg
標(biāo)準(zhǔn)配件 1直流電源控制系統(tǒng)1套
2射頻電源控制系統(tǒng)1套
3膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)1套
4分子泵（德國進(jìn)口）1臺
5冷水機(jī)1臺
6冷卻水管（Ø6mm）4根
可選配件 金、銦、銀、鉑等各種靶材

 


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