8.5英寸等離子清洗機(jī)

簡要描述：

PCE-80是一款較大型的8.5英寸等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

產(chǎn)品型號：PCE-80
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-19
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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子
最大射頻功率	100 W

8.5英寸等離子清洗機(jī)

PCE-80是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 "dia x 12“"L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實驗幫手。

8.5英寸等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點

最大射頻功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 總功率: < 600W
● 電源：AC 220V , 50Hz

射頻電源：

●射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)

●頻率: 13.56 MH

●可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實驗

等離子腔體：

●8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體

●鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封

●法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

●此設(shè)備*屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

通入氣體：

●等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

●不能使用易燃qi體及腐蝕性氣體。

可選：

●可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片

●可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

●空氣系統(tǒng)模塊

控制面板：

●通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.

●儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計，可精確地控制進(jìn)氣流量

真空泵（選配）：

●儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵

●極限真空度為50mTorr（參考值，具體請點擊）

●真空泵模塊

外形尺寸：

620 L ×600 W ×600 H, mm

相關(guān)應(yīng)用：

●請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試最佳的等離子功率

●對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間

●對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間

●可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源

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