這款微型PECVD系統(tǒng)，其腔體為 3*dia× 16“L的石英腔體，而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對樣品進(jìn)行加熱，此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機(jī)械泵。整套儀器都按放在一個移動架上，以便于實(shí)驗(yàn)操作。等離子腔體內(nèi)部的最高溫度可以達(dá)到400℃，采用程序化控溫。此款小型廉價的PECVD系統(tǒng)對于薄膜生長和納米線的制作是一款很好的選擇。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-19
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操作PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積設(shè)備的安全指南

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詳細(xì)介紹

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子
溫控方面	采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃

    等離子源：

    等離子體射頻電源：110V或220VAC,50/60Hz,<100W

    輸出頻率：13.56MHz

    三檔射頻功率大?。?.2W.10.5W和18W（可調(diào)節(jié)）

    腔體尺寸：3"ODx2.7"IDx16"L

    儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2torr（用機(jī)械泵)

    滑動法蘭：

    •有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。

    樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。

    •加熱圈尺寸：50mmODx40mmIDx70mm，可使樣品達(dá)到的溫度為400℃

    •加熱圈上套有一2"IDx75mmL的石英罩，以減小熱量損失

    •溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃

    輸入電源：AC220V

    兩通道混氣系統(tǒng)：

    •混氣箱上安裝有兩個浮子流量計(jì)，其量程為10-100SCCM

    •三個機(jī)械壓力表：-0.1-0.15MPa,

    •混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

    •配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

    •混氣箱尺寸：340Lx300Dx180H,mm（13.4"x12"x7")!

    凈重:141bs.

    真空和氣體接口：

    標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有

    •一套3”的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

    •一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍

    •一個數(shù)字式真空顯示計(jì)

    •等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2,Ar,Air,以及各種混合性氣體。

    •可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量，確保等離子體達(dá)到樣品處

    (注意:不可通入易燃易爆性氣體)

    真空泵：

    •儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵，其抽氣速率為120L/min,

    進(jìn)氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr

    移動架：

    設(shè)備中配有—600Lx600Wx600H（mm)的移動架，整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面

    儀器尺寸：

    •等離子源：8.5"Hx10"Wx8"D

    •溫控盒：4"Hx10"Wx8"D

    移動架：600x600x600mm

    重量：

    701b(包含真空泵)

    質(zhì)保期：

    一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）

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