OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積三溫區(qū)回轉(zhuǎn)管式爐系統(tǒng)（R-PECVD），等離子增強(qiáng)系統(tǒng)的引入可在相對較低的溫度下實(shí)現(xiàn)粉末表面的包覆復(fù)合、核殼結(jié)構(gòu)制備等工藝過程。自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集，包含射頻電源（帶自動(dòng)匹配功能）、四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)及真空泵系統(tǒng)，可由PLC觸摸屏或PC電腦控制，使用方便快捷。

產(chǎn)品型號(hào)：OTF-1200X-Ⅲ-R5-PECVD
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-08-19
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操作PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積設(shè)備的安全指南

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詳細(xì)介紹

產(chǎn)地類別	國產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子
加熱爐參數(shù)：	最高溫度：1200℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃；

    產(chǎn)品特點(diǎn)：

    •爐體在0-25°內(nèi)傾斜，有利于粉末樣品的裝卸；

    •齒輪驅(qū)動(dòng)管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

    •四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控；

    •配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)，可保證在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行粉體的進(jìn)給和收集。

    加熱爐參數(shù)：

    三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐

    •最高溫度：1200℃（<30min）；連續(xù)工作溫度：1100℃；

    •三個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;

    •輸入功率：208-240V，單相，最大功率：4KW；

    •高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；

    •回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：2-10rpm；

    •爐體開啟式設(shè)計(jì)以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

    射頻電源：

    真空系統(tǒng)：

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵；

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)（可選）：

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

    •流量范圍：

    •電壓：208-240V，AC，50/60Hz；

    •氣體進(jìn)出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

    •PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

    產(chǎn)品尺寸和重量：

    •設(shè)備尺寸：2800mmL'800mmW'1700mmH

    •供氣系統(tǒng)：600mmL'700mmW'700mmH

    •凈重：180kg

    承諾：

    一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

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