OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積由射頻電源、雙溫區(qū)管式爐、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵及水冷機(jī)組成。此套完整的設(shè)備系統(tǒng)特別適合用于無機(jī)復(fù)合粉末的熱處理以及粉未表面的改性處理工藝中（如：粉體摻雜（空穴、間隙原子）、表面改性、表面包覆及制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。

產(chǎn)品型號：OTF-1200X-S-Ⅱ-R-4CV-PE
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-19
訪問量：4817

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操作PECVD等離子體增強(qiáng)氣相沉積設(shè)備的安全指南

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子	輸入電壓	AC208-220V， 50/60Hz

    1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

    1、射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度；

    2、齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性;

    3、4通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控;

    4、爐體開啟式設(shè)計(jì)，以達(dá)到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

    1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)參數(shù)：

    工作電源：

    •輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

    •總功率：<4KW

    加熱爐參數(shù)：

    •最高溫度：1100℃(<30min)；連續(xù)工作溫度：1000℃;

    •兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃;

    •工作電壓：110V；

    •額定功率：1.5KW；

    •回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5rpm。

    射頻電源：

    真空系統(tǒng)：

    •·采用TRP-12的雙旋真空泵；

    •KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

    •真空度可達(dá)10-2Torr。

    供氣系統(tǒng)(可選)：

    •客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度：±0.02%);

    •流量范圍：

    •電壓：208-240V，AC，50/60Hz；

    •氣體進(jìn)出口配件：6mmOD的聚四氟管或不銹鋼管;

    •不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出

    •PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置

    循環(huán)水冷機(jī)：

    標(biāo)配KJ-5000循環(huán)水冷機(jī)，水流速率：16L/min

    產(chǎn)品尺寸和重量：

    尺寸：1400mmL-600mmW-1240mmH

    凈重：90Kg

    承諾：

    一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

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