OTF-1200X-50S-PE是一款小型等離子體氣相沉積管式爐系統(tǒng)（PECVD）。該設(shè)備配有等離子射頻電源，開啟式管式爐（帶有真空法蘭和連接管道）及一個直聯(lián)式雙旋機械泵。此套設(shè)備模型可組合為不同類型的PECVD系統(tǒng)，且設(shè)備性價較為理想。

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,能源,電子	加熱爐參數(shù)：	?最高溫度：1100℃（《30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃

產(chǎn)品特點：

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

•整套設(shè)備尺寸小巧；

•可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量；

•可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應(yīng)力。

加熱爐參數(shù)：

•最高溫度：1100℃（《30min）；連續(xù)工作溫度：1000℃；

•PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

•輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

•爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•采用TRP-12的雙旋真空泵；

•KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

•真空度可達10-2Torr。

產(chǎn)品尺寸和重量：

•尺寸：1500mm L'600mm W'1200mm H

•凈重： 75 kg

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

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