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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 類型 | 其他 |
---|---|---|---|
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工 | 旋轉(zhuǎn)速度范圍 | 20-3000rpm |
加速度范圍 | 20-5000rpm/s | 最大設(shè)備配置 | 4套清洗單元 |
清洗噴嘴類型 | NANO Spray | 配置 | CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等 |
流量控制 | 浮子式流量計(jì)(可選超聲波流量計(jì)) | 設(shè)備尺寸 | 1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H) |
全自動(dòng)清洗機(jī)
清洗機(jī),用于沖洗過濾液壓系統(tǒng)在制造、裝配、使用過程及維護(hù)時(shí)生成或侵入的污染物;也可以適用于對工作油液的定期維護(hù)過濾,提高清潔度,避免或減少因污染而造成的故障,從而保證液壓系統(tǒng)設(shè)備的高性能、高可靠度和長壽命。
產(chǎn)品介紹
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動(dòng)清洗工藝處理
適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊
產(chǎn)品參數(shù)
最大設(shè)備配置:4套清洗單元
旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-5000rpm/s
清洗噴嘴類型:NANO Spray
配置CO2除靜電系統(tǒng)、等離子靜電消除器等
流量控制:浮子式流量計(jì)(可選超聲波流量計(jì))
設(shè)備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)
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