PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為 6“dia x 6.5“。特別適合對有機物和基片表面進(jìn)行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進(jìn)行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。

產(chǎn)品型號：PDC-001
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2024-08-17
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PDC-001是一款腔體尺寸較大的等離子清洗機，其等離子腔體尺寸為6"diax6.5"。特別適合對有機物和基片表面進(jìn)行清洗，同時可以向腔體通入不同的氣體（如氧氣和惰性氣體等），從而產(chǎn)生不同氣氛的等離子體以滿足實驗需要。在高射頻工作狀態(tài)下起表面臟物移出速率高達(dá)20nm/min.對于在薄膜生長前對基片進(jìn)行預(yù)處理，此款設(shè)備極為理想。

技術(shù)參數(shù)

輸入功率	AC 110V , 50/60 Hz, < 200W
輸出頻率	13.56 MHz
功率	低檔716V DC 10 mA DC 7.2 W 中檔720V DC 15 mA DC 10.5W 高檔740V DC 40 mA DC 30 W
等離子腔體	尺寸：6" dia x 6.5" l 石英腔體
真空泵和閥	儀器中包括有一雙極旋片泵，2XZ-2，抽氣速率為2L/s, 泵上安裝有一個不銹鋼針閥，其接口為寶塔嘴接頭
通入的氣體	腔體中可以通入多種氣體，如N2, Ar, Air ，也可以通入多種混合氣體，以滿足實驗需要，不可以通入可燃性氣體進(jìn)入等離子腔體中
可選配件	如果基片的直徑為2"和4"，可以選購石英架，每個石英架上可以放25片數(shù)字式真空顯示計，可以精確顯示石英腔體內(nèi)的真空度
可選真空計	可選本公司生產(chǎn)研發(fā)的電阻真空計此款真空計是以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下體現(xiàn)的熱傳導(dǎo)特性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器，特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空度測量。
外型尺寸	11" H x 18" W x 9" D
細(xì)節(jié)圖

質(zhì)保期	一年質(zhì)保 ( 不包括石英腔體和密封圈)
質(zhì)量認(rèn)證	CE Certified