OTF-1200X-II-HG是一款雙溫區(qū)濕度可控氫氣熱處理爐,此設(shè)備帶有兩通道氣體控制器,氣液混合罐,露點(diǎn)儀和氫氣探測(cè)器,此設(shè)備專門設(shè)置對(duì)材料進(jìn)行濕氫處理,以達(dá)到材料表面部分氧化,同時(shí)也進(jìn)行各種CVD實(shí)驗(yàn)。精密露點(diǎn)儀測(cè)量精度可以達(dá)到 +/-1.5%RH。若有實(shí)驗(yàn)中發(fā)生氫氣微露現(xiàn)象(氫氣爆炸點(diǎn)的10%),3M公司的氫氣探測(cè)器將發(fā)生報(bào)警信號(hào),使整個(gè)實(shí)驗(yàn)在安全的環(huán)境下進(jìn)行。
技術(shù)參數(shù)
爐體結(jié)構(gòu)
| - 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于60℃
- 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層(可延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命和提高加熱效率)
- 開啟式爐體設(shè)計(jì),方便更換爐管
- 儀器包括氫氣探測(cè)器和蜂鳴報(bào)警器,達(dá)到安全實(shí)驗(yàn)
- 帶有氣液混合罐,并套有加熱環(huán),控制器控制升降溫
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大功率 | 4KW |
輸入電壓 | AC 208 - 240V 單相 (需要30A 的空氣開關(guān) ) |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(電阻絲的表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋯涂層,可以提高加熱元件的使用壽命) |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | - 兩個(gè)溫區(qū),每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm,
- 總溫區(qū)長(zhǎng)度:400mm
- 恒溫區(qū):200mm(兩個(gè)溫區(qū)可設(shè)置同樣的溫度)
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高工作溫度 | 1200℃(小于1小時(shí)) |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
建議升溫速率 | 10°C /min |
爐管和法蘭 | - 高純石英管:Φ50 (OD)×Φ44 (ID) ×1000 L, mm
- Φ60 (OD)×Φ54 (ID) ×1000 L, mm
- Φ80 (OD)×Φ74 (ID) ×1000 L, mm
- Φ100 (OD)×Φ94 (ID) ×1000 L, mm
- 304不銹鋼法蘭,上面安裝有機(jī)械壓力表和針閥,爐管內(nèi)真空度可以達(dá)到10 - 5 torr(采用分子泵)
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溫控系統(tǒng) | - 兩個(gè)溫區(qū)分別由兩個(gè)控溫儀表獨(dú)立控制,可設(shè)置30段升降溫程序。
- 采用PID方式控制升降溫
- 帶有過熱和斷偶保護(hù)
- 控溫精度+/- 1 ?C
- 爐體面板上有RS485接口,可額外在本公司購買控溫軟件,可將升溫程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中
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氣體控制 | - 安裝有兩個(gè)50-500ml/min浮子流量計(jì),控制進(jìn)氣流量
- 一個(gè)浮子流量計(jì)直接與法蘭相連接,可通入干燥的氫氣進(jìn)入爐管
- 另一個(gè)浮子流量計(jì)與氣液混合罐,可通入濕氫進(jìn)入爐管中。
- 可在本公司選購質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),可以更精確地控制氣體流量。
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氣液混合罐 | - 一個(gè)304不銹鋼混合罐,容積為600ml( 80OD x 200H, mm)
- 混合罐放置在一個(gè)加熱環(huán)中
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露點(diǎn)儀
| - 一個(gè)精密的露點(diǎn)儀,帶有KF25接頭
- 測(cè)量范圍:0 - 100% RH (精度為1.5%FS),-60? ~ +60? DP(精度+/-0.3?)
- 可調(diào)試混合罐的溫度和氫氣流量來調(diào)節(jié)水分含量
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氫氣探測(cè)器
| - 工作溫度:-18?C - 65?C
- 報(bào)警點(diǎn):氫氣爆炸點(diǎn)的10%
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儀器尺寸 | 1400×600×1200mm |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管,密封圈和加熱元件等易耗件) |
質(zhì)量認(rèn)證 | CE Certified |